概述
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。按真空泵的工作原理可以分为两种类型,一种是气体捕集泵,另一种是气体传输泵。其中气体输送泵包括:
1、液环真空泵(水环式真空泵)
2、往复式真空泵
3、旋片式真空泵
4、定片式真空泵
5、滑阀式真空泵
6、余摆线真空泵
7、干式螺杆真空泵
8、罗茨真空泵
9、分子真空泵
10、牵引分子泵
11、复合式真空泵
12、水喷射真空泵
13、气体喷射泵
14、蒸汽喷射泵
15、扩散泵等。
气体捕集泵包括吸附泵和低温泵
这种泵是一种是气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上,从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵,有以下几种型式。
1.吸附泵:它主要依靠具有大表面的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。
2.吸气剂泵:它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种形式。
3.吸气剂离子泵:它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上,以达到抽气的目的。它有如下几种型式。
4.蒸发离子泵:泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华(或蒸发)而覆在泵内壁的吸气材料上,以实现抽气的一种真空泵。
5.溅射离子泵:泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上,以实现抽气目的的一种真空泵。
6.低温泵:利用低温表面捕集气体的真空泵。
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